题名：MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验

作者：张智海;黄尚廉;张洁;金珠;王宁;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.19650/j.cnki.cjsi.2009.07.006

注册时间：2018-01-03 14:34:04

以下是您获得的URL地址： https://link.cnki.net/doi/10.19650/j.cnki.cjsi.2009.07.006(境内) https://link.oversea.cnki.net/doi/10.19650/j.cnki.cjsi.2009.07.006(境外)