题名：(Zr,Al)N薄膜的微结构及性能研究

作者：葛云科;顾晓波;喻利花;许俊华;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.19515/j.cnki.1003-1545.2008.01.006

注册时间：2017-09-21 07:29:29

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