ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПАРАМЕТРІВ НА ВІДТВОРЕННЯ ЄЛЕКТРИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ПЛІВОК SnO2 , ОТРИМАНИХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ

Автор(и)

  • Г. С. Хрипунов Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", Ukraine
  • О. В. Пірогов Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", Ukraine
  • В. О. Новіков Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", Ukraine
  • А. Л. Хрипунова Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2014.3.108238

Ключові слова:

діоксид олова, плівки, магнетронне розпилення, електропровідність

Анотація

Для створення промислових технологій виготовлення газових датчиків та фронтальних електродів плівкових сонячних елементів досліджено вплив потужності магнетронного розпилення та концентрацію кисню в робочому газі на відтворення електричної провідності плівок діоксиду олова. Експериментально показано, що для підвищення відтворюваності електричних властивостей необхідно знизити електричну потужність до 10 Вт и підвищити концентрацію кисню до 50%.

Посилання

A. Luque, S. Hegedus. Handbook of Photovoltaic Science and Engineering // John Wiley&Sons 370 p. (2003).

T.J.Coutts, X.Wu, P.Sheldon, D.H. Rose. Development high-performance transparent conducting oxides and their impaction on the performance CdS/CdTe solar cells // Proceeding of the 2nd Word Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion.- Vienna (Austrian). pp 720- 724,(1999).

X.Wu. High-efficiency polycrystalline CdTe thin-film solar cells // Solar Energy, 96, pp. 803-814, (2004).

M.Hadrich, C.Heisler, U.Reislohner, C.Kraft, H. Metzner. Back contact formation in thin cadmium telluride solar cells // Thin Solid Films, 519(21) 31, pp. 7156-7159(2011).

L.A. Kosyachenko, E.V.Grushko, X.Mathew Quantitative assessment of optical losses in thin-film CdS/CdTe solar cells // Solar Energy Materials and Solar Cells, 96, pp. 231-237, (2012).

N. Yamazoe. Toward innovations of gas sensor technology // Sensors and Actuators, vol. B (108), pp. 2–14 (2005).

X. Liu, S. Cheng, H. Liu, S. Hu, D. Zhang and H. Ning. A survey on gas sensing technology // Sensors, 12, pp. 9635-9665 (2012).

A. F. Khan, M. Mehmood, A.M. Rana, and M.T. Bhatti. Effect of annealing on electrical resistivity of rf-magnetron sputtered nanostructured SnO2 thin films // Applied Surface Science, 255, pp. 8562–8565 (2009).

N.H. Al-Hardan, M.J. Abdullah, A. Abdul Aziz. Sensing mechanism of hydrogen gas sensor based on RFsputtered ZnO thin films // International journal of hydrogen energy, 35, pp. 4428-4434 (2010).

A.S. Reddy, N.M. Figueiredo and A. Cavaleiro. Nanocrystalline Au:Ag:SnO2 films prepared by pulsed magnetron sputtering // Journal of Physics and Chemistry of Solids, 74, pp. 825–829 (2013).

L.S. Palatnik,M.J. Fuchs, and V.M. Kosevich, The Mechanism of Formation and Substructure of Condensed Films Nauka, M. 340 s (1972).

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-07-01

Номер

Том 11 № 3 (2014)

Розділ

Технологія виробництва сенсорів

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.