题名：射频等离子体离子能量分布特性研究

作者：邢海龙;金伟;梁传辉;代波;任勇;毛新春;王东平;王小英;陈长安;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

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DOI码：10.16568/j.0254-6086.202104003

注册时间：2021-12-21 11:31:44

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