表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1Cp08
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11月19日(月)
MoS2のCVD成長-触媒ナノ粒子を用いたナノチューブ成長と薄膜の不純物・欠陥の解析
*島田 敏宏上原 史也後藤 真菜美田村 貴大柳瀬 隆長浜 太郎
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抄録

MoS2のCVD成長と成長した物質の構造・欠陥の解析について報告する。溶液合成したFeOナノ粒子を基板に塗布してからCVD成長を行うと、MoS2のナノチューブを得ることができる。TEM観察から、構造はarmchair型であった。成長にはFeOナノ粒子の突起が重要な役割を果たしている。また、単層膜のさまざまな環境中でのアニールにより欠陥・不純物を制御できることがわかった。

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© 2018 公益社団法人 日本表面科学会
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