10月28日（月）
イオンクロマトグラフィーを用いた真空装置の清浄性評価
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OLED(有機発光ダイオード)素子の寿命は不純物量に比例して低下するため、長寿命化に向けて装置の清浄性を確保することが重要な課題となっている。チャンバーには表面処理や洗浄工程で使用された水溶性不純物が残留しており、OLED素子の寿命に影響を与えると言われている。今回は、真空チャンバーからの水溶性不純物の採取方法、イオンクロマトグラフィーを用いた残留イオンの評価方法とその実施例について報告する。
