题名：碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响

作者：党坤;王华;陈维铅;李玉宏;许世鹏;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.14062/j.issn.0454-5648.20210403

注册时间：2022-04-06 22:05:56

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