题名：超高真空磁控溅射生长铌薄膜

作者：杨丽娜;丁增千;李睿颖;周博艺;熊康林;冯加贵;张永红;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13922/j.cnki.cjvst.202106017

注册时间：2021-07-28 11:12:51

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