题名：热处理对溅射在金属探针上的铂薄膜的影响

作者：雷程;冯伟;梁庭;齐蕾;熊继军;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13873/J.1000-9787(2022)02-0009-05

注册时间：2022-01-24 21:47:51

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