题名：Nd_2O_3掺杂的HfO_2高k栅介质薄膜ALD制备及性能研究

作者：张文强;熊玉华;魏峰;陈小强;梁晓平;赵鸿滨;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

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DOI码：10.13373/j.cnki.cjrm.xy17020012

注册时间：2018-08-24 16:16:52

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