题名：表面粗糙度对磁控溅射纯Cu靶材刻蚀区表面形貌及溅射性能的影响

作者：杨文灏;鲍明东;唐宾;王钰鹏;赵国华;王帅康;王铎;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13251/j.issn.0254-6051.2021.08.044

注册时间：2021-09-10 11:35:51

以下是您获得的URL地址： https://link.cnki.net/doi/10.13251/j.issn.0254-6051.2021.08.044(境内) https://link.oversea.cnki.net/doi/10.13251/j.issn.0254-6051.2021.08.044(境外)