题名：SOI高温压阻式压力传感器的设计与制备

作者：李鑫;梁庭;赵丹;雷程;杨娇燕;李志强;王文涛;熊继军;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

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DOI码：10.13250/j.cnki.wndz.2018.06.005

注册时间：2018-05-11 09:31:11

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