レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発 光学系に起因する外乱の真円度形状に及ぼす影響

2023年度精密工学会春季大会

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発

光学系に起因する外乱の真円度形状に及ぼす影響

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キーワード: 深穴, 精度, 測定, レーザ, 誘導

会議録・要旨集フリー

p. 402-403

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抄録

直径17～21，L/D比500の深穴の形状精度を，測長器のレーザ光のみで穴の曲がりおよび真円度が測定できる高機能測定システムを製作し，測定精度向上に関し調べてきた。本研究では，光学系に起因する干渉縞の真円度検出誤差に及ぼす影響に関して調べる。また、穴の曲がりの精度良い測定に関しても追及する。