精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会秋季大会
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

軟X線高速分光イメージングに向けた超高速電子線描画装置による超高刻線密度回折格子の開発
*吉永 享太, 竹尾 陽子, 櫻井 快, O’Neal Jordan Tyler, 中田 勇宇, 島村 勇徳, 江川 悟, 仙波 泰徳, 大橋 治彦, 木村 隆志
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キーワード: マルチ開口回折格子, 超高刻線密度, 不等間隔刻線, 超高速電子線描画装置, 放射光, 軟X線分光イメージング
会議録・要旨集 認証あり

p. 575

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抄録

我々は軟X線を用いた高速分光イメージングを実現するマルチ開口回折格子を開発した。マルチ開口回折格子は超高密度の不等間隔な刻線を持つ多数の回折格子から構成され、超高速電子線描画装置により作製される。各回折格子が試料上の各位置に対応し、それらの分光スペクトルを高エネルギー分解能で取得できる。本発表では、波動光学計算に基づく設計や半導体プロセスを用いた作製手法に加え、放射光を用いた実験結果を報告する。

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