機械学習を用いたX線顕微鏡像からの波面推定

青戸 仁志; 田中 優人; 松山 智至

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_114

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_114

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

機械学習を用いたX線顕微鏡像からの波面推定

*青戸仁志, 田中優人, 松山智至

著者情報

キーワード: X線顕微鏡, 機械学習, X線光学

会議録・要旨集フリー

p. 114-115

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抄録

結像型X線顕微鏡上でin-situに波面計測を行う技術が実現すれば，アダプティブX線顕微鏡によるさらなる高分解能化が可能である．本研究では，機械学習により顕微鏡から得られた画像から波面を推定する手法の開発を行った.情報量の多いコヒーレント結像の画像を用いて,顕微鏡画像と波面のゼルニケ係数との関係を学習させた．学習済みモデルは顕微鏡画像のみからゼルニケ係数を予想することができた．

責任著者(Corresponding author)

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