干渉計用真空装置の開発と環境による干渉計動作比較評価

逆井 康佑; 明田川 正人; 福永 琢真; 白石 隼瀬

doi:10.11522/pscjspe.2021S.0_599

2021年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021S.0_599

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/22

干渉計用真空装置の開発と環境による干渉計動作比較評価

*逆井康佑, 明田川正人, 福永琢真, 白石隼瀬

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キーワード: 干渉計, ヘテロダイン, 位相同期ループ, 変位計測, 空気ゆらぎ, 真空

会議録・要旨集フリー

p. 599-600

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抄録

ナノテクノロジにおいて、サブナノメートル以下の分解能を有し、メートルの定義に準拠する変位計測技術が必要とされている。光学干渉計による変位計測はこれらの要求を満たしており、産業用途の測定技術として適する。しかしながら光学干渉計は空気環境下において、測定結果に空気ゆらぎによる影響が混入する。本研究では1m以上の光路差、10^-3Paの真空度で動作する干渉計を開発し、真空環境と空気環境での厳密な動作比較評価を行う。

責任著者(Corresponding author)

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