高分子電解質を用いた電気化学インプリント技術の開発 ロール電極の適用による大面積化

森本 英太; 梅崎 凌平; 村田 順二

doi:10.11522/pscjspe.2021A.0_478

2021年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021A.0_478

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27

高分子電解質を用いた電気化学インプリント技術の開発

ロール電極の適用による大面積化

*森本英太, 梅崎凌平, 村田順二

著者情報

キーワード: インプリントリソグラフィ, 高分子電解質, ロール電極

会議録・要旨集フリー

p. 478-479

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抄録

高分子電解質膜（PEM）は陰極/PEM/陽極の電解機構において陽極酸化反応を起こし陽極に酸化膜を形成する．本研究ではこの電気化学反応を利用したロール電極によるインプリント技術を提案する．回転するロール電極を用いる事で大面積の加工物に対して高密度の電流で連続的に加工を行う事が可能である．本加工法を用いて大面積のSi基板表面にピッチ70 μm，深さ20 nmのパターン状構造を生成した．

責任著者(Corresponding author)

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