精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会春季大会

開催地: 東京農工大学

開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19

X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発
格子干渉計を用いたX線波面計測法の検証
*中村 南美, 松山 智至, 山田 純平, 井上 陽登, 大坂 泰斗, 湯本 博勝, 小山 貴久, 大橋 治彦, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人
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キーワード: X線自由電子レーザー, 波面計測, X線格子干渉計
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p. 617

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抄録

X線自由電子レーザーは超高ピーク輝度を有しており，更なる高度利用化に向けた集光技術の発展が望まれている．極限集光の達成には集光状態の把握が必須であり，我々はTalbot効果に基づく格子干渉計を用いたX線波面計測法の開発を行っている．本手法の信頼性を実証するため，縞走査法およびフーリエ変換法による解析についての比較を行った．またチェス盤回折格子を用いた2次元一括波面計測の検討結果について報告する．

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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