走査型プローブ顕微鏡を援用した酸素添加大気圧プラズマジェットによるPMMA膜のサブマイクロ加工

中澤 謙太; 山本 将; 中川 英; 荻野 明久; 下村 勝; 岩田 太

doi:10.11522/pscjspe.2020A.0_505

2020年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020A.0_505

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/01 - 2020/09/07

走査型プローブ顕微鏡を援用した酸素添加大気圧プラズマジェットによるPMMA膜のサブマイクロ加工

*中澤謙太, 山本将, 中川英, 荻野明久, 下村勝, 岩田太

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キーワード: 大気圧プラズマジェット, エッチング, 走査型プローブ顕微鏡

会議録・要旨集フリー

p. 505-506

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抄録

本研究では，酸素添加大気圧プラズマジェットをキャピラリによってサブミクロンまで局在化し，走査型プローブ顕微鏡を用いて位置決めすることで実現する高精度なPMMA膜のマスクレス加工法を提案する．酸素を添加することによるエッチングレートへの有効性を確認し，500 nm以下の直径の点加工や線幅のライン加工を実現した．さらに，プラズマジェットのエッチング中の発光分光分析が可能な光学系を開発し，計測を行った．

責任著者(Corresponding author)

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