精密工学会学術講演会講演論文集
2019年度精密工学会春季大会
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発（第三報）
スペックルを利用したミラーアライメント手法の開発
*井上 陽登, 松山 智至, 中村 南美, 湯本 博勝, 犬伏 雄一, 小山 貴久, 大坂 泰斗, 井上 伊知郎, 登野 健介, 大橋 治彦, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 山内 和人
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キーワード: X線集光ミラー, X線自由電子レーザー, ビーム診断, コヒーレント散乱, スペックル
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p. 770

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抄録

X線自由電子レーザーは超高ピーク強度を有しており，更なる高度利用化に向けた集光技術の発展が望まれる．極限集光を目指すにあたり，ミラーの形状のみでなく，アライメント精度も非常に重要視される．我々は，微粒子の散乱によるスペックルパターンを利用したビーム診断手法を導入することで，ミラーアライメントの調整を試みた．その結果，全てのアライメントを許容範囲内で調整することに成功した．

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© 2019 公益社団法人 精密工学会
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