2019年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会春季大会
開催地: 東京電機大学
開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15
UV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた三次元ナノ撥水構造の作製
p. 568-569
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会春季大会
開催地: 東京電機大学
開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15
p. 568-569
ハスの葉やバラの花を例とした撥水構造は同一表面上にマイクロとナノスケールの構造を含んだ三次元構造となっている。このような三次元ハイブリッド構造の作製方法はいくつか報告されているが、本研究では新たな手法としてUV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた方法を提案する。この方法ではUV-NILで作製したマイクロサイズの構造上に直接ナノ構造をEBLで作製することが可能であり、143.6°の接触角を有する三次元構造の作製に成功した。
