窒化ケイ素球を用いたマイクロボールフォーミング法におけるテクスチャリング特性

山口 桂司; 中野 剛嗣; 角谷 駿介; 太田 稔; 江頭 快

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_643

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: J06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_643

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

窒化ケイ素球を用いたマイクロボールフォーミング法におけるテクスチャリング特性

*山口桂司, 中野剛嗣, 角谷駿介, 太田稔, 江頭快

著者情報

キーワード: テクスチャリング, マイクロボールフォーミング, 窒化ケイ素

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抄録

材料表面に微細構造を形成するテクスチャリング手法としてマイクロボールフォーミング（MBF）法を開発した．また，窒化ケイ素球表面にレーザ加工によって微細な凹凸を付与したMBF用のボール工具を製作した．本研究では，製作した窒化ケイ素製ボール工具を用いて各種金属材料に対してテクスチャリングを行った．本報では，窒化ケイ素製ボール工具を用いたMBFにおけるテクスチャリング特性について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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