光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第3報） レーザ捕捉微小球レンズの試料面近傍における位置制御

山口 悠希; 道畑 正岐; 水谷 康弘; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_37

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_37

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主催: 公益社団法人精密工学会

光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第3報）

レーザ捕捉微小球レンズの試料面近傍における位置制御

*山口悠希, 道畑正岐, 水谷康弘, 高谷裕浩

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キーワード: マイクロ球, レーザトラッピング, 表面微細形状, 位置制御, イメージング

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抄録

レーザトラッピングを用いた幾何形状と表面微細形状のハイブリッド計測を提案している．本手法は捕捉球のレンズ効果を利用し試料面のイメージングを行うため，捕捉球を試料面近傍まで接近させる必要がある．しかし試料面近傍では散乱光の影響により捕捉球が複雑な挙動を示すため，単純な接近は難しい．そこで本報では電磁場シミュレーションに基づき捕捉球制御手法を考案し，ビーム遮蔽が捕捉球制御に有用であることを示した．

責任著者(Corresponding author)

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