シリコンを用いたMEMSデバイスの作製には、高価な真空装置、多数の工程やプロセス時間が必要であり、基板が高価である等の課題がある。そこで、低コスト、高機能、立体形状形成等の特徴を持つ、感光性ポリマーを用いたMEMSデバイスや加工技術が注目されている。本稿では、我々が研究中の大面積・大偏向角駆動用ミラー、フィルタ機能付きSPRセンサ、回転傾斜露光技術による立体形状形成と応用デバイス等を紹介する。