主催: 公益社団法人精密工学会
宇都宮大 先端光工学専攻
宇都宮大 オプティクス教育研究センター
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近年の波長以下のナノ微細周期構造の評価が求められている．我々はその評価方法として，すべての偏光特性を表すことのできるミュラー行列を導入してきた．今回，実際に透過型分光ミュラー行列偏光計を構築し，境界要素法によるシミュレーション値に注目して比較し，ナノ周期構造評価の可能性を示したので報告する．
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