レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発 測定誤差の補正

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: D46

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発

測定誤差の補正

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キーワード: 深穴, 精度, 測定, レーザ, 誘導, 小径

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抄録

直径17 (R8.5) ～21(R10.5) mm、深さ１ｍの深穴の形状精度を測定できるレーザ誘導方式測定器を製作した。測定誤差に影響を及ぼす要因を明らかにし、その補正法に関して検討する。