主催: 公益社団法人精密工学会
岡山大 大学院 自然科学研究科
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大面積電子ビームの照射による工作物の凸部形状断面をSEMによって観察し，照射に伴う形状変化を調査した．また凸部先端角度による形状変化の違いについても検討を行った．さらに，先端での電子集中を考慮した非定常熱伝導解析を行い，解析結果と実験結果を比較した．その結果，解析によって凸部形状変化を高精度に予測できることが明らかとなった．
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