大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第2報） 石英ガラスを工具としたプラズマ援用研磨におけるプラズマ照射の効果

田畑 雄壮; 門奈 剛毅; トウ 輝; 牧山 真也; 遠藤 勝義; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.225.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: E15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.225.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化（第2報）

石英ガラスを工具としたプラズマ援用研磨におけるプラズマ照射の効果

*田畑雄壮, 門奈剛毅, トウ輝, 牧山真也, 遠藤勝義, 山村和也

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キーワード: 単結晶ダイヤモンド, 大気圧プラズマ, 研磨, 平滑化, ダメージフリー

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抄録

単結晶ダイヤモンド基板の高品位・高能率な研磨プロセスとして，大気雰囲気で直流パルス電源を用いたプラズマ照射を援用した研磨法の適用を検討した．プラズマ照射しながら100分間研磨した場合の基板温度は75℃以下だった．プラズマを照射せずに基板を100℃に加熱し同時間研磨した場合の加工痕深さは，プラズマ援用研磨時の25%程度で，加工量増大には熱流入の影響だけでなく，プラズマからの紫外線やラジカルによる影響が考えられる．

責任著者(Corresponding author)

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