精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会秋季大会
セッションID: K36
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微少液滴塗布用光学式針先非接触検知機構の開発
*安達原 裕越湖 智之青山 尚之渕脇 大海入江 優花
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抄録

本研究室では、μTASをはじめ、幅広い分野での活用を目的とした微少液滴塗布機構を開発している。この機構において、発塵の抑制、塗布量の安定化を図るためには、塗布面に対する針先の停止位置を適切に調整する必要がある。そこで、光センサを用いて、ビームを塗布面で反射させ、針がビームを遮ることで変化する受光量を測定することによって、針先位置を調整する機構を試作し、性能評価実験によって本手法の有効性を確かめた。

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© 2007 公益社団法人 精密工学会
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