精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会春季大会
セッションID: M62
会議情報

精密・超精密位置決め(1)
マイクロ可変絞りによる油静圧スラスト軸受のアクティブ制御に関する研究
*下間 剛吉本 成香
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録

機器の部品精度はますます高精度なものが要求され、それに伴い、機械の構成要素である軸受や案内面にもより高い剛性が要求されるようになってきた。本研究では、剛性を高める手法として小型浮動円板を用いた静圧スラスト軸受を提案する。そして、浮動円板をアクティブに制御することにより、動的な負荷変動に対して高い応答特性を持つことを明らかにした。

著者関連情報
© 2005 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top