高真空対応型静圧気体軸受に関する研究 シャフトを移動させたときの真空チャンバ内真空度の挙動

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: N67

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（5）

高真空対応型静圧気体軸受に関する研究

シャフトを移動させたときの真空チャンバ内真空度の挙動

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キーワード: 静圧気体軸受, 高真空

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抄録

近年、電子線描画装置の真空チャンバ内にある位置決めステージを静圧空気軸気で支持することが考えられている。本研究では静圧空気軸受を真空チャンバ内で使用可能とする排気システムを提案する。そしてステージを移動した場合の真空チャンバ内真空度変化を明らかにすることを目的としている。