高集積、高速、多機能などの特徴を持つ三次元回路素子の二次元V L S Iに対する優位性は信号の並列処理機能を持つところにあり、この並列信号処理により多量のデータの高速処理が可能と考えられる。我々は処理すべきデータ量の多い画像処理に対して、三次元回路素子を適用して、並列信号処理による画像信号処理の高速化の可能性を検討した。大面積のSOI(絶縁体上のシリコン)形成技術などの積層構造形成技術の開発により、イメージセンサ、A/Dコンバータ、算術論理演算回路の能動層3層からなる三次元回路素子による画像信 号処理機能モデルを試作し、画像信号処理の基本動作を確認した。
