反応性プラズマにおける電子密度,電子温度,正・負イオン,中性ラジカル密度などの種々の物理量の計測手法は,近年の研究により大きく発展した.ここでは,分光的手法によらないプラズマ計測手法について紹介する.反応性プラズマへの応用という観点から,近年新たに開発されたプラズマ(あるいは電子)密度などの計測法について解説する.また,反応性プラズマにおいて重要な中性ラジカル種に関して,質量分析法を用いた計測法を近年の発展を含めて解説する.