応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
AlAs選択酸化膜形成技術
小山 二三夫, 西山 伸彦, 荒井 昌和, 伊賀 健一
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2000 年 69 巻 11 号 p. 1339-1340

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