日本伝熱学会創立50周年記念第48回日本伝熱シンポジウム
セッションID: SP107
会議情報
主催: 社団法人 日本伝熱学会
SP1 学生優秀プレゼンテーション賞１ ―熱物性・物質移動―
薄膜Siの面方向熱伝導率と電気伝導度の同時測定
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主催: 社団法人 日本伝熱学会
近年、微細構造をもつ物質のバルクとは異なる優れた物性値が報告されるようになってきた。本研究では多孔構造のような微細構造が電子輸送と熱輸送に及ぼす影響を調べるため、MEMS技術を用いて薄膜Siのマイクロブリッジを作製した。熱輸送と電子輸送の方向を揃えるためデバイス形状を自立した薄膜とし、薄膜面方向の熱伝導率を測定した。マイクロブリッジの電気伝導度の温度依存性を測定し、マイクロブリッジをジュール発熱させたときの温度を測定することで熱伝導率と電気伝導度を同時に測定し、微細構造が輸送現象に及ぼす影響について考察した。
