電磁駆動前方視超音波内視鏡の開発と振動特性の評価
2019 年 Annual57 巻 Abstract 号 p. S276_1
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2019 年 Annual57 巻 Abstract 号 p. S276_1
血管内で前方視観察を行う超音波内視鏡を開発している。カテーテル先端に搭載するプローブ部品として、外径約2 mmのポリマーチューブ端面に、１個の超音波素子が2本のSi製ビームにより両側が支持され固定されており、さらに、血液が内部に流入するのを防ぐ封止膜が成膜されている。超音波素子には円柱形状の永久磁石が固定されチューブ内腔に配置されている。磁石近傍のチューブ表面に駆動コイルが作製されており、コイルに交流電流を供給し電磁力により磁石と超音波素子を振動させセクタ走査を行う（図）。銅製の駆動コイルは非平面フォトリソグラフィーと電解めっきを用いて作製した。超音波素子をダミーとした電磁駆動評価用試作デバイスを作製し、振動特性の評価を行った。
