Skip to main content

Vakuum-Totaldruck-Messung

  • Chapter
Sensortechnik

Zusammenfassung

Die fortschreitende technische Entwicklung hat eine starke Verbreitung von Anwendungen mit sich gebracht, die unter Vakuum, das heißt bei Drücken ablaufen, die unter dem umgebenden Atmosphärendruck liegen. Der makroskopische Zustand von Materie im gasförmigen Zustand wird durch die Zu-standsgrößen Volumen, Druck und Temperatur beschrieben. Der Druck ist definiert als Verhältnis der von einem Gas auf eine Fläche ausgeübten Kraft zur Größe dieser Fläche.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Chapter
USD 29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD 39.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. Koopmann, T., Vakuum i. d. Prax. 4 (1993) 250

    Google Scholar 

  2. Penning, F.M., Physica 4 (1937) 7.1

    Google Scholar 

  3. Adam, H., Vakuum-Technik 7 (1958) 29–34

    Google Scholar 

  4. Robinson, W., Vacuum 6 (1956) 21

    Article  Google Scholar 

  5. Bayard, R.T. und D. Alpert, Rev. Sci. Instr. 21 (1950) 571

    Article  Google Scholar 

  6. Redhead, P.A., J. Vac. Sci. and Techn. 3 (1966) 173

    Article  Google Scholar 

  7. Redhead, P.A., Rev. Sci. Instr. 31 (1960) 343

    Article  Google Scholar 

  8. Schuemann, W.C., Rev. Sci. Instr. 34 (1963) 700

    Article  Google Scholar 

  9. Lafferty, J.M., Trans. Am. Vac. Soc. Vac. Symp. 7 (1960) 97

    Google Scholar 

  10. Meyer, E.A. und R.G. Herb, J. Vac. Sci. and Techn. 4 (1967) 63

    Article  Google Scholar 

  11. Beams, I.W. und D.M. Spitzer und J.P. Wade Jr. Rev. Sci. Instrum 33 (1962) 151

    Article  Google Scholar 

  12. Fremerey, J.K., J. Vac. Sci. Technol. 9 (1972) 198

    Google Scholar 

  13. Fremerey, J.K. und K. Boden, J. Phys. E 11 (1978) 106

    Article  Google Scholar 

  14. Reich, G., Vakuum-Technik 31 (1982) 173

    Google Scholar 

  15. Langmuir, L, Phys. Rev. 1 (1913) 337

    Google Scholar 

  16. Dushman, S., Phys. Rev. 5 (1915) 212

    Article  Google Scholar 

  17. Chew, A.D. und A. Chambers und G.J. Pert und A.P. Troup, Vakuum i. d. Praxis 1 (1994) 42–47

    Article  Google Scholar 

Fachbücher

  • Edelmann, C: Wissensspeicher Vakuumtechnik. Leipzig: VEB Fachbuchverlag 1985

    Google Scholar 

  • Pupp, W., Hartmann, H.K.: Vakuumtechnik, Grundlagen und Anwendungen. München, Wien: Carl Hanser Verlag 1991

    Google Scholar 

  • Wutz, M., Adam, H., Walcher, W: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik. Braunschweig, Wiesbaden: Verlag Friedrich Vieweg & Sohn 1988

    Book  Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Editor information

Editors and Affiliations

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1998 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

About this chapter

Cite this chapter

Tränkler, HR., Obermeier, E. (1998). Vakuum-Totaldruck-Messung. In: Tränkler, HR., Obermeier, E. (eds) Sensortechnik. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-09866-0_16

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-09866-0_16

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-662-09867-7

  • Online ISBN: 978-3-662-09866-0

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics