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Integrierte Widerstände und Kondensatoren

  • Chapter
Silizium-Planartechnologie

Part of the book series: Teubner Studienbücher Physik ((TSBP))

  • 295 Accesses

Zusammenfassung

Beide Typen passiver Bauelemente werden unter dem Gesichtspunkt behandelt, sie als Teile eines integrierten Schaltkreises im Rahmen der Planartechnologie des Siliziums herzustellen oder als eigenständige parasitäre Bereiche nachzuweisen. Integrierte Induktivitäten mit ausreichender Induktivität lassen sich in der Planartechnologie nicht realisieren. Bei höchsten Frequenzen sind aber dennoch die induktiven Eigenschaften von Leiterbahnen nicht zu vernachlässigen.

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© 2003 B. G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden

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Wagemann, HG., Schönauer, T. (2003). Integrierte Widerstände und Kondensatoren. In: Silizium-Planartechnologie. Teubner Studienbücher Physik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-80070-1_3

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-80070-1_3

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag

  • Print ISBN: 978-3-519-00467-7

  • Online ISBN: 978-3-322-80070-1

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