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Pull-in voltage model of nano-electromechanical system with graphene is investigated for the device optimization. In the pull in voltage model, thickness of graphene layer is assumed to be uniform in vertical and lateral direction. Finite element analysis simulation has verified the feasibility of the suggested model. From the suggested model, pull-in voltage change with graphene thickness and cantilever length can be estimated. Maximum induced stress and graphene thickness have a reciprocal relationship.
#Nano electro mechanical systems (NEMS) #graphene #modeling of graphene

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. SIMULATION STRUCTURE
IV. RESULTS AND DISCUSSIONS
V. CONCLUSIONS
REFERENCES

참고문헌 (22)

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[학술지(정기간행물)] - Meiyong Liao / 2010 / Suspended Single-Crystal Diamond Nanowires for High-Performance Nanoelectromechanical Switches / Adv. Mater 22 : 5393 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - V Cimalla / 2007 / Group III nitride and SiC based MEMS and NEMS: materials properties / technology and applications, Appl. Phys 40 : 20 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - Huiwen Liu / 2002 / Nanotribological characterization of molecularly thick lubricant films for applications to MEMS/NEMS by AFM / Ultramicroscopy 97 : 321 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - Dominik V. Scheible / 2007 / Fabrication of doped nanoelectromechanical systems / Phy. Stat. Sol 1 : 205 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - Marie K. Tripp / 2006 / The mechanical properties of atomic layer deposited alumina for use in microand nano-electromechanical systems / Sen. and Actu. A 130 google schola

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