Zusammenfassung
Der photoakustische Effekt kann zur Detektion von IR-aktiven Gasen genutzt werden. Es wird ein einfaches und kompaktes System vorgestellt, welches nach theoretischen Vorbetrachtungen entwickelt wurde. Das System besteht aus einem thermischen Breitband-IR-Emitter und einer Messkammer mit einem MEMS-Mikrofon als Detektor. Labormessungen mit den Gasen Kohlendioxid und Methan zeigen die Eignung als selektives und kostengünstiges Messsystem. Das Potential zur weiteren Miniaturisierung des Messsystems wird aufgezeigt.
Abstract
The photoacoustic effect can be used to detect IR-active gases. We present a simple and compact system, which was developed according to theoretical considerations. The system consists of a thermal broadband IR-emitter and a measuring chamber containing a MEMS-microphone as detecting unit. Measurement results with carbon dioxide and methane show the functionality as a selective and cost-effective measuring setup. We also discuss the potential for further miniaturization.
Über die Autoren
M.Sc. Jochen Huber arbeitet seit 2012 am Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik in Freiburg in der Arbeitsgruppe Integrierte Sensorsysteme. Seine Arbeitsgebiete betreffen die Entwicklung und Integration von Gassensoren, insbesondere der Photoakustik.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Heidenhofstr. 8, D-79110 Freiburg, Tel.: +49 (0)761 8857-744
Prof. Dr. Jürgen Wöllenstein ist Leiter der Arbeitsgruppe Integrierte Sensorsysteme am Fraunhofer IPM und hat die Professur für Gassensorik an der Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik inne.
Fraunhofer Institut Physikalische Messtechnik, Heidenhofstr. 8, D-79110 Freiburg, Tel.: +49 (0)761-8857-134, Fax: +49 (0)761-8857
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