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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| D_Kawaharamura_Toshiyuki.pdf | Dissertation_全文 | 7.87 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| ykogk02929.pdf | Abstract_要旨 | 1.14 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | ミストCVD法とその酸化亜鉛薄膜成長への応用に関する研究 |
| 著者: | 川原村, 敏幸  |
| 著者名の別形: | Kawaharamura, Toshiyuki |
| キーワード: | ZnO ミスト法 超音波噴霧 CVD ファインチャネル 薄膜成長 成長メカニズム 噴霧技術 |
| 発行日: | 24-Mar-2008 |
| 出版者: | 京都大学 (Kyoto University) |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 博士(工学) |
| 報告番号: | 甲第13825号 |
| 学位記番号: | 工博第2929号 |
| 学位授与年月日: | 2008-03-24 |
| 請求記号: | 新制||工||1433(附属図書館) |
| 整理番号: | 26041 |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 藤田 静雄, 教授 三浦 孝一, 教授 川上 養一 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第1項該当 |
| DOI: | 10.14989/doctor.k13825 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/57270 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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