Author Affiliations +
A. Gharbi,1 P. Pimenta-Barros,1 O. Saouaf,1 G. Reynaud,1 L. Pain,1 R. Tiron,1 C. Navarro,2 C. Nicolet,2 I. Cayrefourcq,2 M. Perego,3 F. Pérez-Murano,4 E. Amat,4 M. Fernández-Regúlez4
1CEA-LETI (France)
2Arkema S.A. (France)
3Istituto per la Microelettronica e Microsistemi, CNR (Italy)
4Instituto de Microelectrónica de Barcelona (Spain)